基板加热方法

摘要

基板加热装置(45)系具备第1加热炉(82)～第5加热炉(90)、及于该第1加热炉(82)～该第5加热炉(90)运送玻璃基板(24)的运送机构(74)。运送机构(74)系具有配置于第1加热炉(82)内之复数个运送辊(76a)，该运送辊(76a)系在被判断为超过设定时间而停止时，使该运送辊(76a)朝一方向旋转或往返旋转，以防止该运送辊(76a)之单侧过热。