| 摘要 |
一种变形量测量装置，适于测量一贴附于一物体上之薄膜光栅的变形量，并包括一壳体、一光源、一定位单元及一位置感测器。壳体具有一对应于光栅之承靠面，而光源配置于壳体中，并适于提供一光束。光束之传递路径与承靠面之法线呈一夹角，且光束适于通过承靠面投射至有金属镀层的反射型光栅，以形成一反射光及一绕射光。定位单元配置于壳体中且位于反射光之传递路径上。位置感测器配置于壳体中且位于绕射光之传递路径上。当反射光透过定位单元定位且光栅的变形量等于0时，绕射光投射至位置感测器之中心。本发明因不需要在现场连接导线而会具有测量时较为简单快速之优点。 |
