| 发明名称 |
抗反射涂料组合物 |
| 摘要 |
本发明系关于一种抗反射涂料组合物，其包含(i)一种热酸产生剂；(ii)一种可交联的聚合物，包含至少一个芳香族基团；及(iii)一种聚合交联剂，包含至少一种结构单元(6)：#P 096134930P01.bmp其中R#sB!11#eB!至R#sB!13#eB!系独立选自H、(C#sB!1#eB!-C#sB!6#eB!)烷基和芳香族基团，R#sB!14#eB!和R#sB!15#eB!独立为(C#sB!1#eB!-C#sB!10#eB!)烷基。本发明亦关于一种使本发明抗反射涂料组合物成像之方法。 |
| 申请公布号 |
TW200831621 |
申请公布日期 |
2008.08.01 |
| 申请号 |
TW096134930 |
申请日期 |
2007.09.19 |
| 申请人 |
ＡＺ电子材料美国股份有限公司 |
发明人 |
金羽圭;吴恒鹏;大卫 雅达拉;马克 尼瑟;卢炳宏;张汝志;Ｍ 达利尔 拉曼 |
| 分类号 |
C09D125/04(2006.01);C09D133/08(2006.01);C09D7/12(2006.01);C09D5/32(2006.01);G03F7/09(2006.01);G03F7/26(2006.01) |
主分类号 |
C09D125/04(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
美国 |
