| 摘要 |
一种多层凸块结构的制造方法。提供一基板，而此基板具有多个接垫与一保护层。保护层具有多个第一开口，且各第一开口暴露出接垫之一部分。在保护层上形成一第一图案化光阻层，其中第一图案化光阻层具有多个第二开口，分别暴露出各接垫之一部分。在第二开口内形成多个第一凸块。在基板上方形成一球底金属材料层，以覆盖第一图案化光阻层与第一凸块。在第一凸块上方之球底金属材料层上形成多个第二凸块，其中第一与第二凸块的材质不同。图案化球底金属材料层，以形成多个球底金属层。移除第一图案化光阻层。因此，此多层凸块结构具有较低的制造成本。 |
