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发明名称
GLASS COMPOSITIONS USEFUL FOR RIE STRUCTURING
摘要
A glass composition suitable for reactive ion etching.
申请公布号
US2008179294(A1)
申请公布日期
2008.07.31
申请号
US20080017780
申请日期
2008.01.22
申请人
HAYDEN JOSEPH S;DAHLMANN ULF;FOTHERINGHAM ULRICH;PANNHORST WOLFGANG;PUCILOWSKI SALLY
发明人
HAYDEN JOSEPH S.;DAHLMANN ULF;FOTHERINGHAM ULRICH;PANNHORST WOLFGANG;PUCILOWSKI SALLY
分类号
C03C15/00;C03C3/253
主分类号
C03C15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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