发明名称 GLASS COMPOSITIONS USEFUL FOR RIE STRUCTURING
摘要 A glass composition suitable for reactive ion etching.
申请公布号 US2008179294(A1) 申请公布日期 2008.07.31
申请号 US20080017780 申请日期 2008.01.22
申请人 HAYDEN JOSEPH S;DAHLMANN ULF;FOTHERINGHAM ULRICH;PANNHORST WOLFGANG;PUCILOWSKI SALLY 发明人 HAYDEN JOSEPH S.;DAHLMANN ULF;FOTHERINGHAM ULRICH;PANNHORST WOLFGANG;PUCILOWSKI SALLY
分类号 C03C15/00;C03C3/253 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
地址