Gehäuse für in mobilen Anwendungen eingesetzte mikromechanische und mikrooptische Bauelemente

摘要

Die Erfindung betrifft ein Gehäuse für ein oder mehrere mikromechanische und/oder mikrooptische Bauelemente, wobei das Gehäuse ein Trägersubstrat mit mindestens einem mikromechanischen und/oder mikrooptischen Bauelement und mindestens ein Deckelsubstrat, das mit dem Trägersubstrat in Verbindung steht, aufweist. Dabei bilden das Trägersubstrat und das mindestens eine Deckelsubstrat mindestens einen Hohlraum, der das mindestens eine mikromechanische und/oder mikrooptische Bauelement zumindest teilweise einschließt, wobei die dem mindestens einen mikromechanischen und/oder mikrooptischen Bauelement zugewandte Seite mindestens eines Deckelsubstrats mindestens ein optisches Fenster und mindestens einen mechanischen Anschlag aufweist. Des Weiteren ist Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Gehäuses, wobei das Verfahren insbesondere auch für die Verkapselung auf Wafer-Ebene einsetzbar ist.