发明名称 |
Microwave power source device |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2008202970(A1) |
申请公布日期 |
2008.07.31 |
申请号 |
AU20080202970 |
申请日期 |
2008.07.03 |
申请人 |
TOYO SEIKAN KAISHA, LTD. |
发明人 |
KOJI YAMADA;HIDEO KURASHIMA;HAJIME INAGAKI;AKIRA KOBAYASHI;TSUNEHISA NAMIKI;TOSHIHIDE LEKI |
分类号 |
C23C16/40;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/511;C23C16/515;G06F17/00;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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