发明名称 Microwave power source device
摘要
申请公布号 AU2008202970(A1) 申请公布日期 2008.07.31
申请号 AU20080202970 申请日期 2008.07.03
申请人 TOYO SEIKAN KAISHA, LTD. 发明人 KOJI YAMADA;HIDEO KURASHIMA;HAJIME INAGAKI;AKIRA KOBAYASHI;TSUNEHISA NAMIKI;TOSHIHIDE LEKI
分类号 C23C16/40;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/511;C23C16/515;G06F17/00;H01J37/32 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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