发明名称 Vorrichtung mit Zr-Ge-Ti-O oder Hf-Ge-Ti-O als dielektrisches Material und Verfahren zur Herstellung
摘要
申请公布号 DE60039220(D1) 申请公布日期 2008.07.31
申请号 DE20006039220 申请日期 2000.11.27
申请人 AGERE SYSTEMS OPTOELECTRONICS GUARDIAN CORP. 发明人 SCHNEEMEYER, LYNN FRANCES;VAN DOVER, ROBERT BRUCE
分类号 C23C14/08;H01L21/316;C23C14/34;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/8242;H01L27/108;H01L29/51;H01L29/92 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
地址