发明名称 Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE602006001507(D1) 申请公布日期 2008.07.31
申请号 DE200660001507T 申请日期 2006.11.28
申请人 ASML NETHERLANDS B.V.;ASML HOLDING, N.V. 发明人 VISSER, HUIBERT;CALLAN, DAVID WILLIAM;MUNNIG SCHMIDT, ROBERT-HAN;WIENER, ROBERTO;VAN DE VEN, JOHANNES T. G.;ROBBINS, GEORGE HOWARD
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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