Aktor mit Positionsmessvorrichtung

摘要

Die Erfindung betrifft einen Aktor (10a), insbesondere einen pneumatischen Zylinder (11a), mit einem in einem Bewegungsraum (12) eines Gehäuses beweglich angeordneten Aktorglied (14a) und einer Mikrowellen-Positionsmessvorrichtung (50) zur Positionsermittlung des Aktorglieds (14a) in dem Bewegungsraum (12), mit einer Mikrowellen-Antennenanordnung (51) zum Senden von Mikrowellen (54) in den einen Hohlleiter bildenden Bewegungsraum (12) und Empfangen von durch Reflexion der gesendeten Mikrowellen (54) an dem Aktorglied (14a) gebildeten Reflexions-Mikrowellen (55) aus dem Bewegungsraum und mit Auswertemitteln (53) zur Bildung eines die jeweilige Position des Aktorglieds (14a) repräsentierenden Positionssignals (57) anhand der Reflexions-Mikrowellen (55). Bei dem Aktor (10a) ist vorgesehen, dass das Aktorglied eine Rillenanordnung (32a) mit mindestens einer Rille (33a) zur Reflexion der Mikrowellen (54) aufweist.