发明名称 |
BENDING MODE ACCELEROMETER |
摘要 |
A single crystal unimorph based accelerometer with a cantilevered piezoelectric single crystal |
申请公布号 |
WO2008039828(A3) |
申请公布日期 |
2008.07.31 |
申请号 |
WO2007US79505 |
申请日期 |
2007.09.26 |
申请人 |
ENDEVCO CORPORATION;RHEE, SORAH;ELLER, ELDON |
发明人 |
RHEE, SORAH;ELLER, ELDON |
分类号 |
G01P15/09 |
主分类号 |
G01P15/09 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|