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发明名称 Verfahren und Anordnung zur Reparatur von Speicherchips mittels Mikro-Lithographie-Verfahren
摘要
申请公布号 DE10354112(B4) 申请公布日期 2008.07.31
申请号 DE2003154112 申请日期 2003.11.19
申请人 QIMONDA AG 发明人 KALLSCHEUER, JOCHEN;SCHNEIDER, HELMUT WALTER;RUF, BERNHARD;SALCHNER, REINHARD
分类号 H01L21/822;G03F7/00;G06F11/20;G11C29/00;H01L21/31;H01L21/66;H01L21/768;H01L23/525 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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