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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUTEILS MIT IM SUBSTRAT VERGRABENEN KONDENSATOREN UND DAVON ISOLIERTER BAUELEMENTSCHICHT
摘要
申请公布号
DE50310011(D1)
申请公布日期
2008.07.31
申请号
DE20035010011
申请日期
2003.09.13
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
HOFMANN, FRANZ;LEHMANN, VOLKER;RISCH, LOTHAR;ROESNER, WOLFGANG;SPECHT, MICHAEL
分类号
H01L21/8242;H01L21/02;H01L21/334;H01L21/84;H01L27/108;H01L27/12;H01L29/94
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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