电荷耦合装置以及制作电荷耦合装置的方法

摘要

一种电荷耦合装置(CCD)，包括：沿一传输通道交替设置的第一层传输电极和第二层传输电极，其中位于第一层传输电极之下的电荷存储部分的宽度大于位于第二层传输电极之下的势垒部分的宽度。第一和第二互接线向该传输电极提供两相驱动信号。把第一互接线连接到该传输电极的接触塞以及连接第二互接线的接触塞相对于传输通道的中心线设置在相对的侧部。

主权项

1.一种电荷耦合装置(CCD)，包括：一半导体衬底，该衬底内设有一在所述半导体衬底表面区域上的传输通道；覆盖在所述半导体衬底之上并沿所述传输通道交替设置的多个第一传输电极和多个第二传输电极；以及用于向所述第一和第二传输电极提供两相驱动信号、以便沿所述传输通道传输电荷的第一和第二互接线，其中：所述传输通道包括：多个第一扩散区以及多个第二扩散区，每一第一扩散区都位于相应的其中一个所述第一传输电极之下，每一第二扩散区都位于相应的其中一个所述第二传输电极之下，在传输电荷期间，所述第一扩散区组成电荷存储部分，而所述第二扩散区组成势垒部分；而且每一所述电荷存储部分的宽度都大于每一所述势垒部分的宽度，其中所述的宽度是指与电荷的传输方向垂直的方向上的尺寸。