间隙检测装置

摘要

本发明的目的在于提供一种即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴与工作物之间的间隙的间隙检测装置。设置对通过了中心电极电缆(4)的合成信号的频率(f₁)的成分和频率(f₂)的成分进行检波的检波部件(8)，根据由该检波部件(8)检波出的频率(f₁)的成分和频率(f₂)的成分，生成与喷嘴(5)和工作物(6)间的间隙对应的检测信号。由此，即使等离子体的产生状况变化，也能够高精度地检测出喷嘴(5)与工作物(6)之间的间隙。

主权项

1.一种间隙检测装置，其特征在于包括：产生频率相互不同的多个信号，对该多个信号进行合成，并将该合成信号供给到与激光加工机用的喷嘴的前端连接的电缆的信号产生装置；对通过了上述电缆的合成信号的多个频率成分进行检波的检波装置；以及根据由上述检波装置检波出的多个频率成分，生成与上述喷嘴和工作物之间的间隙对应的检测信号的检测信号生成装置，其中上述信号产生装置产生频率为共振频率的信号、频率比共振频率低的信号。