基于液体变焦透镜的微小物体三维外形尺寸的快速检测装置

摘要

本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种基于液体变焦透镜的微小物体三维外形尺寸的快速检测装置。本发明包括二维平移台、被测物体、液体变焦透镜、有限共轭物镜、聚焦镜、CCD摄像机、图像采集模块、计算机、液体变焦透镜控制器。在二维平移台上放置被测物体，经液体变焦透镜、有限共轭物镜、聚焦镜后成像在CCD摄像机的感光像面上。CCD摄像机通过图像采集模块与计算机连接；计算机通过液体变焦透镜控制器与液体变焦透镜连接。本发明将液体变焦透镜应用于微小物体三维外形尺寸的快速检测。本装置光学系统中没有机械移动部件，提高了仪器的测量速度与使用寿命。可用于机械加工、MEMS、微电子、生物医药等领域中进行快速的三维外形尺寸检测。

主权项

1.一种基于液体变焦透镜的微小物体三维外形尺寸的快速检测装置，其特征在于：该装置包括二维平移台(1)、被测物体(2)、液体变焦透镜(3)、有限共轭物镜(4)、聚焦镜(5)、CCD摄像机(6)、图像采集模块(7)、计算机(8)、液体变焦透镜控制器(9)；所述二维平移台上放置被测物体(2)，被测物体(2)经液体变焦透镜(3)、有限共轭物镜(4)、聚焦镜(5)后成像在CCD摄像机(6)的感光像面上；所述CCD摄像机(6)通过图像采集模块(7)与计算机(8)连接；所述计算机(8)通过液体变焦透镜控制器(9)与液体变焦透镜(3)连接。