发明名称 | 密闭正压作业机台 | ||
摘要 | 本发明涉及一种具有工件传输口的密闭正压作业机台,该密闭正压作业机台具有供气室、风机-滤网机组、第一气罩装置以及回风管。供气室容置供给密闭正压作业机台内部的循环气体。风机-滤网机组将供气室的循环气流传送至密闭正压作业机台内部。第一气罩装置设置于工件传输口旁,控制循环气流自工件传输口散逸。回风管可回送密闭正压作业机台内部的循环气流至供气室。本发明的密闭正压作业机台不仅能减少需要自密闭正压作业机台外部供给的气体,且能避免有机物质自工件传输口逸散。 | ||
申请公布号 | CN101229546A | 申请公布日期 | 2008.07.30 |
申请号 | CN200810080526.X | 申请日期 | 2008.02.21 |
申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 谢彩惠;林立伟 |
分类号 | B08B15/00(2006.01) | 主分类号 | B08B15/00(2006.01) |
代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 潘培坤;张向琨 |
主权项 | 1.一种密闭正压作业机台,具有一工件传输口,该密闭正压作业机台包括:一供气室,容置供给该密闭正压作业机台内部的循环气流;一风机-滤网机组,将该供气室的该循环气流传送至该密闭正压作业机台内部;一第一气罩装置,设置于该工件传输口旁,控制该循环气流自该工件传输口散逸;以及一回风管,回送该密闭正压作业机台内部的该循环气流至该供气室,减少自该密闭正压作业机台外部的一供给气体。 | ||
地址 | 中国台湾新竹市 |