发明名称 POSITIVE-WORKING RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR RESIST PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 KR100849058(B1) 申请公布日期 2008.07.30
申请号 KR20077001158 申请日期 2007.01.17
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;C08F220/00;G03F7/033;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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