发明名称 半导体结构及其形成方法
摘要 本发明有关一种半导体结构及其形成方法,该半导体结构包含一基材以及布局于该基材上的一集成电路,通过形成一阻隔层,以构成一平坦的表面,使得一底层金属可以形成于该阻隔层之上,从而避免导电层产生断点而影响其阻抗分布,使其具有稳定的导电特性。
申请公布号 CN101231977A 申请公布日期 2008.07.30
申请号 CN200710007333.7 申请日期 2007.01.24
申请人 南茂科技股份有限公司 发明人 傅文勇
分类号 H01L23/485(2006.01);H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L23/485(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 任永武
主权项 1.一种半导体结构,包含:一基材;一集成电路,布局于该基材上;一钝化层,覆盖于设有该集成电路的该基材上,形成非平坦的一第一上表面;一阻隔层,形成于该钝化层之上,形成平坦的一第二表面;以及一底层金属,形成于该阻隔层的该第二表面上。
地址 台湾省新竹科学工业园区新竹县研发一路一号