在离散片上沉积多层涂层的装置

摘要

一种用于在底物上沉积多层涂层的设备。此设备包括限定连接真空源的真空室的箱室、几个各配置来在底物上沉积多层涂层的层的沉积站、固化站和减少污染的器件。至少一个沉积站被配置为沉积无机层，同时至少一个另外的沉积站被配置来沉积有机层。在一种设备结构中，底物可按多层涂层所需层数的要求来回穿梭该设备多次，对于另一种结构，此设备可包括多个相邻的相间隔的箱室，以使底物可一次单向通过。减少污染的器件可配置为一个或多个迁移控制室在至少一个沉积站的周围，而且还包括冷却器件，如冷却器，以减少各种层的前体的存在。此设备尤其适合于沉积多层涂层至柔性底物上，和包膜置于此柔性底物上的环境敏感部件。

主权项

1.一种用于环境敏感器件的多层涂层，所述涂层包含：等离子保护层，其被构成以置于所述器件上；和置于所述等离子保护层上的叠层，所述叠层包含至少一个有机层和至少一个无机层，所述等离子保护层具有隔热性能，从而当在沉积所述叠层时，与没有所述等离子保护层的情况相比，由沉积所述叠层所使用的等离子引起的对所述器件的损害被显著地降低了。