摘要 |
<p>Elektroda pro rozprašování v magnetickém poli je opatrená první elementární fází prvního materiálu,pricemž tento první materiál je bud kobalt nebo wolfram, první intermetalickou fází obsahující první materiál a druhý materiál, pricemž druhý materiál je bud wolfram nebo kobalt a je odlišný od prvního materiálu a první materiál je ve vetším atomovém procentuálním obsahu než druhý materiál, a druhou intermetalickou fází obsahující druhý materiál aprvní materiál, kde druhý materiál je ve vetším atomovém procentuálním obsahu než první materiál. Rozprašovací elektroda obsahuje 20-80 at.% kobaltu a má hustotu vetší než 99 % své maximální teoretické hustoty. Tato rozprašovací elektroda se vyrábí výberem kobaltového prášku a wolframového prášku, které mají totéž rozložení velikosti cástic, smícháním kobaltového prášku a wolframového prášku do formy smíseného prášku, uložením smíseného prášku do krabice, slisováním smíseného prášku za tepla pro vytvorení tuhého telesa a strojní obrábení tohoto tuhého telesa do tvaru rozprašovací elektrody.</p> |