| 发明名称 |
LINE PROFILE ASYMMETRY MEASUREMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1678466(A4) |
申请公布日期 |
2008.07.30 |
| 申请号 |
EP20040784089 |
申请日期 |
2004.09.13 |
| 申请人 |
ACCENT OPTICAL TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
RAYMOND, CHRIS |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B;G01B11/24;G01B11/30;G01N21/55;G01N21/88;G01N21/956;G03F7/20 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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