| 发明名称 | 灰度光罩及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种灰度光罩，包含透明基板及光线阻碍层。该光线阻碍层被配置于该透明基板上，并具有最小厚度的透光区、最大厚度的非透光区、及中间厚度的灰度区，其中该中间厚度介于该最小厚度及该最大厚度之间，且该灰度区的透光率的大约介于5％与95％之间。 | ||
| 申请公布号 | CN101231460A | 申请公布日期 | 2008.07.30 |
| 申请号 | CN200710301827.6 | 申请日期 | 2007.12.14 |
| 申请人 | 盟图科技股份有限公司 | 发明人 | 蔡晴夫 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01);G03F7/00(2006.01) | 主分类号 | G03F1/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周建秋;王凤桐 |
| 主权项 | 1.一种灰度光罩，包括：透明基板；以及光线阻碍层，该光线阻碍层被配置于该透明基板上，并具有最小厚度的透光区、最大厚度的非透光区、及中间厚度的灰度区，其中该中间厚度介于该最小厚度及该最大厚度之间，且该灰度区的透光率介于5％与95％之间。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区笃行一路8号 | ||