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发明名称 CVD REACTOR WITH SLIDINGLY MOUNTED SUSCEPTOR HOLDER
摘要
申请公布号 EP1948845(A1) 申请公布日期 2008.07.30
申请号 EP20060830031 申请日期 2006.11.17
申请人 AIXTRON AG 发明人 FRANKEN, WALTER;KAEPPELER, JOHANNES
分类号 C23C16/458 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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