发明名称 |
一种自动多次回流机的元件固定装置 |
摘要 |
本发明提供一种自动多次回流机的元件固定装置,涉及半导体测试工艺。现有的回流机在运行时需要工作人员守在旁边等待换样品,如果看管不利,会造成器件掉出机台散落在地或者晶圆摔碎的情况,且经过回流温度曲线的晶圆需冷却一段时间才能将其拿起。本发明的自动多次回流机的元件固定装置,设于回流机的传送带上,其包括一用以放置半导体元件的笼子、一设于笼子底面且垂直于传送带的传送方向的转轴、以及设于传送带上的两对支撑架,一对卡在转轴的各卡口处,用以轴向定位所述转轴,另一对平行于传送带的传送方向设置于笼子底面,使笼子的平面与传送带平行。本发明可解决半导体元件在回流过程中的散落问题,并自动完成回流过程。 |
申请公布号 |
CN101231938A |
申请公布日期 |
2008.07.30 |
申请号 |
CN200710036722.2 |
申请日期 |
2007.01.23 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
卢秋明;马瑾怡 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/687(2006.01);G01R31/26(2006.01);G01R31/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
1.一种自动多次回流机的元件固定装置,设于回流机的传送带上,其特征在于,所述固定装置包括:一笼子,用以放置半导体元件;一转轴,设于笼子底面且垂直于传送带的传送方向,转轴两端设有卡口;以及两对支撑架,设于所述传送带上,一对卡在转轴的各卡口处,用以轴向定位所述转轴,另一对平行于传送带的传送方向设置于笼子底面,使笼子的平面与传送带平行。 |
地址 |
201203上海市张江路18号 |