有序孔阵列透射式波长计及其测量方法

摘要

本发明公开了一种有序孔阵列透射式波长计及其测量方法。波长计为平行光源(1)的入射角与由透明衬底(2)和其孔阵列周期为200nm～20μm的有序孔阵列(3)构成的半透镜相垂直，半透镜或平面镜位于移动台上，平面镜为位于透明衬底(2)的附有有序孔阵列(3)的一侧的显示屏(5)，其与有序孔阵列(3)间的距离为20cm～1m；方法为设定测量的精度，即选择有序孔阵列与显示屏间的距离，根据显示屏上有无衍射斑点或衍射环，确定有序孔阵列的孔阵列周期幅度的增减，测量显示屏上的衍射斑点或衍射环的半径，通过公式确定波长。它能测量光谱范围从几十纳米到几十微米的入射光的波长，且精度适中，可广泛用于科学研究和工程技术领域中的实时和在线测量。

主权项

1.一种有序孔阵列透射式波长计，包括平行光源(1)和其光路上的半透镜和平面镜，以及移动台，其特征在于：(a)所说平行光源(1)的入射角与所说半透镜相垂直；(b)所说半透镜或平面镜位于移动台上；(c)所说半透镜由透明衬底(2)和有序孔阵列(3)构成，所说有序孔阵列(3)的孔阵列周期为200nm～20μm；(d)所说平面镜为显示屏(5)，所说显示屏(5)位于所说透明衬底(2)的附有有序孔阵列(3)的一侧，且与所说有序孔阵列(3)间的距离为20cm～1m。