| 发明名称 | 基板升降装置和基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种即使在真空处理装置中，也不产生升降销的一端接触，可稳定地使基板升降的基板升降装置和基板处理装置。提升板(32)的围绕筒体(34)为中空状，在天井部(34a)中具有开口，在该开口中插入升降销基端部(9)的下部。在提升板(32)的上面(32a)中，配设球轴承(35)，在与提升板(32)相对的围绕筒体(34)的天井部内面(34b)中，配设球轴承(36)。球轴承(35)接触设置在升降销基端部(9)上的法兰(9a)的下面，球轴承(36)接触法兰(9a)的上面，由此以夹入升降销基端部(9)的法兰(9a)的方式支撑升降销(8)。 | ||
| 申请公布号 | CN100407398C | 申请公布日期 | 2008.07.30 |
| 申请号 | CN200610107866.8 | 申请日期 | 2006.07.26 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 伊藤毅 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种基板升降装置，配设在基板处理装置的基板载置台上，使基板升降，其特征在于，具有：相对于所述基板载置台的基板载置面能够突出没入地设置，与基板接触，并使其升降的升降销；支撑所述升降销的支撑部；和使所述升降销升降变位的驱动部，所述升降销在其基端部，通过多个球轴承被支撑在所述支撑部上，所述多个球轴承配置在所述升降销的变位方向上，使得所述基端部的全部或一部分被夹入其间。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||