| 发明名称 |
ARRANGEMENT IN CONNECTION WITH ALD REACTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1948844(A1) |
申请公布日期 |
2008.07.30 |
| 申请号 |
EP20060808040 |
申请日期 |
2006.11.16 |
| 申请人 |
BENEQ OY |
发明人 |
SOININEN, PEKKA;SNECK, SAMI |
| 分类号 |
C23C16/458;C23C;C23C16/00;C23C16/455;C23C16/54;C30B25/00;C30B25/08;C30B25/12;C30B25/16 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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