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发明名称
INDUCTIVELY-DRIVEN PLASMA LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号
EP1949415(A2)
申请公布日期
2008.07.30
申请号
EP20060804217
申请日期
2006.09.27
申请人
ENERGETIQ TECHNOLOGY INC.
发明人
SMITH, DONALD, K.;BESEN, MATTHEW, M.;PETLURI, RAGHURAM, L., V.
分类号
H01J65/04
主分类号
H01J65/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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