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发明名称 METHOD FOR FORMING ISOLATION LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100849064(B1) 申请公布日期 2008.07.30
申请号 KR20020039919 申请日期 2002.07.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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