内连线的制造方法

摘要

一种内连线的制造方法，此方法先于一衬底上形成一第一介电层，且第一介电层中已形成一开口。然后，形成一金属层以填满上述开口，于第一介电层与金属层上形成一材料层。接着，对材料层进行一表面处理工艺，以于金属层表面形成一顶盖层。随后，移除材料层与部分第一介电层。然后，于衬底上方形成一第二介电层，且第二介电层表面高于顶盖层表面。之后，进行一平坦化工艺，至少移除部分第二介电层与部分顶盖层至暴露出开口顶部。

主权项

1.一种内连线的制造方法，包括以下步骤：于一衬底上形成一第一介电层，且该第一介电层中已形成一开口；形成一金属层以填满该开口；于该第一介电层与该金属层上形成一材料层；对该材料层进行一表面处理工艺，以于该金属层表面形成一顶盖层；移除该材料层与部分该第一介电层；于该衬底上方形成一第二介电层，且该第二介电层表面高于该顶盖层表面；以及进行一平坦化工艺，至少移除部分该第二介电层与部分该顶盖层至暴露出该开口顶部。