含氯气体的废气处理

摘要

本发明提供了一种衬底处理装置，该衬底处理装置包括工艺腔室和废气处理装置，该废气处理装置包括氢化反应器、洗涤器、燃烧室和操作工艺腔室和废气处理装置的控制器。在所述氢化反应器中，含氢气体用于处理腔室废气以形成包含氯化氢气体的氢化废气。洗涤器喷水经过所述氢化气体以溶解所述氯化氢气体。在燃烧步骤期间将含氧气体添加至所处理的废气以进一步去除所述废气。

主权项

1.一种处理衬底和处理包含碳氢化合物气体和含氯气体的废气的方法，该方法包括：(a)将衬底暴露于包含碳氢化合物气体和含氯气体的工艺气体中；(b)从工艺区排出腔室废气，所述腔室废气包括未处理的包含碳氢化合物气体和含氯气体的工艺气体；(c)将所述腔室废气暴露于含氢气体以形成包含氯化氢气体的氢化废气；(d)用水洗涤所述氢化废气以使氯化氢气体溶解在水中来形成洗涤过的废气，该废气基本上不含氯化氢气体；以及(e)通过加热所述洗涤过的废气同时添加含氧气体来燃烧所洗涤过的废气以形成处理过的废气。