发明名称 |
角速度传感器 |
摘要 |
本发明提供一种角速度传感器。该角速度传感器包括:第一音叉振动器,所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂;第二音叉振动器,所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂;以及双平衡架部,所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部,并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。 |
申请公布号 |
CN101231301A |
申请公布日期 |
2008.07.30 |
申请号 |
CN200810004550.5 |
申请日期 |
2008.01.22 |
申请人 |
富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 |
发明人 |
山地隆行;石川宽;高桥勇治;胜木隆史;中泽文彦;井上广章 |
分类号 |
G01P9/04(2006.01);G01C19/56(2006.01) |
主分类号 |
G01P9/04(2006.01) |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
李辉 |
主权项 |
1.一种角速度传感器,该角速度传感器包括:第一音叉振动器,所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂;第二音叉振动器,所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂;以及双平衡架部,所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部,并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。 |
地址 |
日本神奈川县 |