| 发明名称 | 在电镀浴中使用金属纳米晶体颗粒形成的复合金属层 | ||
| 摘要 | 一种在衬底上形成复合金属层的方法，包括提供第一金属的纳米晶体颗粒，将纳米晶体颗粒添加到包括第二金属的离子的镀覆浴上以形成类胶体的悬浮液，在镀覆浴中浸入衬底，以及在衬底上制生成第二金属和第一金属的纳米晶体颗粒的共沉积以形成一复合金属层。共沉积可以通过在衬底上引入负偏压和施加电流到镀覆浴以诱发电镀过程而制造。在电镀过程中，第二金属的离子通过衬底而还原且在衬底上与第一金属的纳米晶体颗粒共沉积以形成复合金属层。 | ||
| 申请公布号 | CN101233264A | 申请公布日期 | 2008.07.30 |
| 申请号 | CN200680023141.9 | 申请日期 | 2006.06.28 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | W·沃尔瓦格;S·穆图库马 |
| 分类号 | C25D15/02(2006.01);C25D7/12(2006.01);H01L21/768(2006.01);H05K3/42(2006.01) | 主分类号 | C25D15/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘锴;韦欣华 |
| 主权项 | 1.一种方法，其包括：提供第一金属的纳米晶体颗粒；将纳米晶体颗粒添加到镀覆浴以形成类胶体的悬浮液，其中所述镀覆浴包括第二金属的离子；在所述镀覆浴中浸入衬底；以及在衬底上进行第一金属的纳米晶体颗粒和所述第二金属的共沉积以形成复合金属层。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||