固态图像传感器

摘要

本发明提供了一种固态图像传感器，其包括具有多个象素的半导体衬底1，并且每个象素包括杂质层2、光电转换层4、读出区域5和栅电极7。该杂质层2包括与位于栅电极7下紧挨栅电极7的衬底1的一部分相邻的邻接部分。该邻接部分包括沿栅极的宽度方向排列的子部分2a、2b和2c，所述栅极的宽度方向与信号电荷的输运方向以及衬底的厚度方向垂直。包含该邻接部分的中心的子部分2a中的杂质浓度低于子部分2b和2c中的杂质浓度。

主权项

1.一种固态图像传感器，其具有多个象素，每个象素包括：杂质层，位于半导体衬底表面下并通过向衬底中掺入杂质形成；光电转换层，位于杂质层下紧挨着杂质层的衬底中，并且根据所接收的光量产生信号电荷；读出区域，位于衬底内且远离杂质层和光电转换层，并且产生的信号电荷向其输运；以及栅电极，放置在衬底上以覆盖至少杂质层和读出区域之间的衬底的部分，并且控制信号电荷从光电转换层向读出区域的输运，其中杂质层包括与位于栅电极下紧挨着栅电极的衬底的一部分邻接的部分，该邻接部分包括沿栅极的宽度方向排列的多个子部分，所述宽度方向与信号电荷的输运方向以及衬底的厚度方向垂直，并且包含该邻接部分的中心的子部分的杂质浓度低于其它子部分中的杂质浓度。