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发明名称 IMPROVEMENTS IN THE METHOD AND APPARATUS OF VACUUM DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0663963(B2) 申请公布日期 2008.07.30
申请号 EP19930918252 申请日期 1993.07.20
申请人 DIELECTRIC COATING INDUSTRIES 发明人 BISCHER, CARMEN B., JR.;SMALL, EDWARD A., JR.
分类号 C23C14/56;C23C14/22;C23C14/00;C23C14/02;C23C16/54;G02B1/10 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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