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发明名称
METHOD OF MANUFACTURING SYSTEM ON CHIP DEVICE
摘要
申请公布号
KR100849077(B1)
申请公布日期
2008.07.30
申请号
KR20020030229
申请日期
2002.05.30
申请人
发明人
分类号
H01L27/10
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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