带电束收集和粒子吸引器

摘要

本发明提供了一种用于减轻在离子注入期间的污染的系统、方法以及装置。本发明提供了离子源、终点台以及设置在离子源与终点台之间的质量分析器，其中离子束由离子源形成且经由质量分析器而行进至终点台。离子束收集组件包括：粒子收集器、粒子吸引器以及与质量分析器连接的屏蔽。其中，可操作粒子吸引器的电位，以将污染粒子吸引并限制在粒子收集器中，并且其中可操作该屏蔽，以将粒子吸引器的电位与质量分析器中离子束的电位屏蔽。

主权项

1.一种用于减少离子注入系统中的污染的装置，包括：粒子收集器，具有界定于其中的收集区域；粒子吸引器，通常设置在该粒子收集器的收集区域中；以及屏蔽，其可操作以将与该粒子吸引器有关的电位限制于该粒子收集器的收集区域中。