| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING A SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND CHEMISTRY THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1949422(A1) |
申请公布日期 |
2008.07.30 |
| 申请号 |
EP20050816173 |
申请日期 |
2005.10.21 |
| 申请人 |
FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. |
发明人 |
SHARMA, BALGOVIND |
| 分类号 |
H01L21/311;C11D11/00;H01L21/3213 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
