用于静电激励微机电装置的选通电压控制系统和方法

摘要

本发明公开了一种用于静电激励微机电装置的选通电压控制系统和方法。该选通电压控制系统可包括：电耦合到该装置的栅极端子(16)的驱动电路(10)；以及电耦合到驱动电路的控制器(12)，其中该选通电压控制序列可包括第一间隔(T1)，用于把选通电压斜升到一个电压水平，以便产生足以使得激励器加速通过激励器所横穿的间隙的一部分从而达到相应的激励状态的静电力；以及该选通电压控制序列还可包括第二间隔(T2)，用于把选通电压斜降到足以减小作用于可移动激励器的静电力的水平。这允许减小激励器接合开关触点以便建立第一激励状态的力的大小，或者在达到第二激励状态时避免激励器的过冲位置。

主权项

1.一种用于静电激励微机电系统开关(14)的选通电压控制系统，其中该开关包括可移动通过间隙的静电响应激励器，用于对应于闭合开关状态和断开开关状态之一来把该开关激励到相应的开关状态，所述选通电压控制系统包括：电耦合到该开关的栅极端子(16)以便施加选通电压的驱动电路(10)；以及电耦合到驱动电路的控制器(12)，用于根据选通电压控制序列来控制施加到选通端子的选通电压，其中该选通电压控制序列包括第一间隔(T1)，用于把选通电压斜升到一个电压水平，以便产生足以使得激励器加速通过激励器所横穿的间隙的一部分从而达到相应的开关状态的静电力，该选通电压控制序列还包括第二间隔(T2)，用于把选通电压斜降到足以减小作用于可移动激励器的静电力的水平，从而减小激励器接合开关触点以便建立闭合开关状态的力的大小，或者在达到断开开关状态时避免激励器的过冲位置。