微隅角棱镜阵列、制造它的方法以及反射型显示装置

摘要

一种制造微隅角棱镜阵列的方法，包括以下步骤：制备基底，它的至少一个表面部分包括立方单晶体，并且它具有一个实质平行于晶体{111}平面的表面；各向异性地蚀刻基底表面，以此在基底表面上形成多个微隅角棱镜阵列单元。每个所述单元由多个晶体平面构成，以低于晶体{111}平面蚀刻率的蚀刻率形成晶体平面。

主权项

1.一种制造微隅角棱镜阵列的方法，其特征在于，包括以下步骤：a)制备基底，所述基底的一个表面包括立方单晶体并且实质平行于晶体{111}平面；b)各向异性地蚀刻基底的所述表面，以此在基底的所述表面上形成多个微隅角棱镜阵列单元，每个所述单元由多个晶体平面构成，以低于晶体{111}平面蚀刻率的蚀刻率形成晶体平面；以及c)在步骤a)和b)之间，用蚀刻掩模层涂覆基底的所述表面，其中，步骤b)包括以低于晶体{111}平面蚀刻率的蚀刻率形成晶体{100}平面的步骤，步骤b)包括各向异性地蚀刻基底的所述表面的步骤，使得{111}平面的蚀刻率与较低的晶体平面的蚀刻率的比值大于1.73，以及其中所述蚀刻掩模层包括多个掩模单元和/或多个开口，每个掩模单元和/或每个开口具有实质位于蜂窝阵点处的中点。