| 发明名称 | 硅结晶设备及硅结晶方法 | ||
| 摘要 | 一种新颖的硅结晶设备和硅结晶方法，其可以无需额外的光刻而形成对准标记，并且可以在装载基板的时候通过检测所述基板的偏差来将其调整到正确的位置。所述硅结晶设备包括可以在水平方向内移动的移动台，以及设置在所述移动台上用于固定基板的固定板。移动台上设有旋转固定板的旋转框。所述硅结晶设备还包括用于检测固定在所述固定板上的所述基板并且控制移动台和旋转框的运动的传感器，其中，所述传感器检测所述基板的角的坐标。 | ||
| 申请公布号 | CN100407364C | 申请公布日期 | 2008.07.30 |
| 申请号 | CN200410102563.8 | 申请日期 | 2004.12.24 |
| 申请人 | 乐金显示有限公司 | 发明人 | 郑允皓;金荣柱 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/324(2006.01);H01L21/20(2006.01);H01L21/477(2006.01);B23K26/00(2006.01);G02F1/35(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1.一种用于结晶的工作台，包括：能够沿水平方向移动的移动台；设置在所述移动台上并用于固定基板的固定板；设置在所述移动台上并用于旋转所述固定板的旋转框；以及用于检测固定在所述固定板上的所述基板并且控制移动台和旋转框的运动的传感器，其中，所述传感器检测所述基板的角的坐标。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||