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发明名称 APPARATUS FOR OPENING DOOR OF A POD
摘要
申请公布号 KR100848572(B1) 申请公布日期 2008.07.25
申请号 KR20060083762 申请日期 2006.08.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/673 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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