发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Praseodymsilikat-Schicht
摘要
申请公布号 DE102005015362(B4) 申请公布日期 2008.07.24
申请号 DE200510015362 申请日期 2005.03.30
申请人 IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS/INSTITUT FUER INNOVATIVE MIKROELEKTRONIK 发明人 MUESSIG, HANS-JOACHIM;DABROWSKI, JAROSLAV;LIPPERT, GUNTHER;WENGER, CHRISTIAN;LUPINA, GRZEGORZ
分类号 C23C16/56;C23C14/18;C23C14/58;C23C28/00;H01L21/314;H01L21/316;H01L27/108 主分类号 C23C16/56
代理机构 代理人
主权项
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