Aktor mit Aktorglied

摘要

Die Erfindung betrifft einen Aktor (10b), insbesondere einen pneumatischen Zylinder, mit einem in einem Bewegungsraum (12) eines Gehäuses (13b) zu einem Endanschlag (27) hin und von dem Endanschlag (27) weg beweglich angeordneten Aktorglied (14b) und einer Mikrowellen-Positionsmessvorrichtung (50) zur Positionsermittlung des Aktorglieds in dem Bewegungsraum (12) anhand von Mikrowellen (54), mit einer Mikrowellen-Antennenanordnung (51) zum Senden von Mikrowellen in den einen Hohlleiter (56) bildenden Bewegungsraum (12) und zum Empfangen von durch Reflexion der gesendeten Mikrowellen an dem Aktorglied (14b) gebildeten Reflexions-Mikrowellen (55) aus dem Bewegungsraum (12). Bei dem Aktor ist vorgesehen, dass die Mikrowellen-Antennenanordnung (51) in Richtung des Aktorglieds (14b) vor dem Endanschlag (27) vorsteht.