发明名称 ILLUMINATING APPARATUS WITH NONLINEAR OPTICAL ELEMENTS FOR PRODUCING LASER LIGHT IN A BROAD SPECTRAL RANGE WITH HOMOGENEOUS SPECTRAL POWER DENSITY
摘要 Es wird bereitgestellt eine Vorrichtung zum Beleuchten eines Objektes, mit einer Beleuchtungsoptik (8), einem der Beleuchtungsoptik (8) vorgeordneten Modul (3), das mindestens zwei nichtlineare optische Elemente (4; 5; 6), die hintereinander angeordnet sind, aufweist, sowie einem dem Modul (3) vorgeordneten Laser (2), der Laserstrahlung (L1 ) an das Modul (3) abgibt, die der Reihe nach durch die hintereinander angeordneten Elemente (4-6) läuft und an die Beleuchtungsoptik (8) abgegeben wird, die mit der vom Modul (3) kommenden Laserstrahlung (L4) das Objekt beleuchten kann, wobei jedes nichtlineare Element (4; 5; 6) aufgrund seiner nichtlinearen Wirkung bewirkt, daß die spektrale Bandbreite der vom nichtlinearen Element (4; 5; 6) abgegebenen Laserstrahlung (L2; L3; L4) größer ist als die spektrale Bandbreite der in das nichtlineare Element (4; 5; 6) eingekoppelten Laserstrahlung (L1; L2; L3), und wobei die Vorrichtung einen Regelkreis aufweist, der Intensitätsschwankungen der vom Modul (3) kommenden Laserstrahlung (L4) mißt und in Abhängigkeit der gemessenen Intensitätsschwankungen eine steuerbare Komponente der Vorrichtung so ansteuert, daß die Intensitätsschwankungen zumindest teilweise kompensiert sind.
申请公布号 WO2008086996(A1) 申请公布日期 2008.07.24
申请号 WO2008EP00232 申请日期 2008.01.14
申请人 CARL ZEISS MICROIMAGING GMBH;WESTPHAL, PETER 发明人 WESTPHAL, PETER
分类号 G02B21/06;G01J3/10;G02B6/122;G02B21/00;G02F1/35 主分类号 G02B21/06
代理机构 代理人
主权项
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