发明名称 完全硅化区域以提高性能的结构及其方法
摘要 本发明涉及完全硅化区域以提高性能的结构及其方法。公开了包括完全硅化的区域的结构以及相关的方法。在一个实施例中,一种结构包括:衬底;部分硅化的区域,位于在所述衬底上形成的集成电路的有源区域中;完全硅化的区域,位于所述集成电路的非有源区域中;以及其中由公共半导体层形成所述部分和完全硅化的区域。
申请公布号 CN101226931A 申请公布日期 2008.07.23
申请号 CN200810002203.9 申请日期 2008.01.02
申请人 国际商业机器公司 发明人 B·A·安德森;E·J·诺瓦克
分类号 H01L27/02(2006.01);H01L27/088(2006.01);H01L27/092(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/8234(2006.01);H01L21/8238(2006.01) 主分类号 H01L27/02(2006.01)
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 于静;李峥
主权项 1.一种结构包括:衬底;部分硅化的区域,位于在所述衬底上形成的集成电路的有源区域中;完全硅化的区域,位于所述集成电路的非有源区域中;以及其中由公共半导体层形成所述部分和完全硅化的区域。
地址 美国纽约
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