发明名称 |
完全硅化区域以提高性能的结构及其方法 |
摘要 |
本发明涉及完全硅化区域以提高性能的结构及其方法。公开了包括完全硅化的区域的结构以及相关的方法。在一个实施例中,一种结构包括:衬底;部分硅化的区域,位于在所述衬底上形成的集成电路的有源区域中;完全硅化的区域,位于所述集成电路的非有源区域中;以及其中由公共半导体层形成所述部分和完全硅化的区域。 |
申请公布号 |
CN101226931A |
申请公布日期 |
2008.07.23 |
申请号 |
CN200810002203.9 |
申请日期 |
2008.01.02 |
申请人 |
国际商业机器公司 |
发明人 |
B·A·安德森;E·J·诺瓦克 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01);H01L27/088(2006.01);H01L27/092(2006.01);H01L21/82(2006.01);H01L21/8234(2006.01);H01L21/8238(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01) |
代理机构 |
北京市中咨律师事务所 |
代理人 |
于静;李峥 |
主权项 |
1.一种结构包括:衬底;部分硅化的区域,位于在所述衬底上形成的集成电路的有源区域中;完全硅化的区域,位于所述集成电路的非有源区域中;以及其中由公共半导体层形成所述部分和完全硅化的区域。 |
地址 |
美国纽约 |