无摩擦惯性步进扫描器、控制法、同点扫描双探针显微镜

摘要

无摩擦惯性步进扫描器特征是拉力器将压片拉向基座，XYZ压电扫描管的一端固定于基座，另一端托住压片并与之产生压力。工作时，施加Z伸长信号和缓慢的XY信号，之后将这两个信号快速回撤使得XY回移过程发生在Z回缩过程之内并使得压片的Z方向惯性力将其XY方向的摩擦力减为零。照此重复产生XY方向步进且无摩擦力干扰，大范围步进定位精度很高，又保留了小范围扫描、定位功能。引入两个独立的Z定位器来调节双探针与样品的间距后，使用无摩擦惯性步进扫描器可将样品上第一个探针的测量点精确送达第二个探针扫描范围之内，实现同点扫描双探针显微镜。其给出的数据更全面、可靠，意义更广、更深。

主权项

1.一种无摩擦惯性步进扫描器，包括：XYZ压电扫描管、基座，其特征在于还包括拉力器、压片，XYZ压电扫描管的一端固定于基座，另一端为扫描端，压片置于该扫描端上，拉力器将压片拉向基座，所述扫描端托住该压片并与该压片产生压力，压片与XYZ压电扫描管之间电绝缘。