发明名称 |
七自由度定位机构 |
摘要 |
本发明涉及的定位机构,特别是一种七自由度定位机构,它由静台体、三自由度倾斜平台、平面三自由度平台组合而成;三自由度倾斜平台由倾斜台底座、倾斜台面、三根伸缩杆、锁紧螺钉、弹性垫圈组构成,倾斜台面同时也是平面三自由度平台的底座,平面三自由度平台还包括X向可调台面、Y向可调台面、工作台面;其中,静台体和倾斜台底座之间可进行粗调并用簧片连接,倾斜台底座和倾斜台面之间有三根伸缩杆,X向可调台面、Y向可调台面和倾斜台面是一个二维导轨平移台,Y向可调台面和工作台面组成一个一维的旋转台,每个台面之间都是用螺钉联接固定的。藉由上述结构主要解决现有多层结构或多杆结构的定位机构所存在的不足之处,用于实现快速、精密定位。 |
申请公布号 |
CN100405222C |
申请公布日期 |
2008.07.23 |
申请号 |
CN200510024017.1 |
申请日期 |
2005.02.23 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
唐海明;邓鹏 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);G12B5/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 |
代理人 |
王敏杰 |
主权项 |
1.一种七自由度定位机构,其特征在于:它由静台体(1)、三自由度倾斜平台、平面三自由度平台组合而成;三自由度倾斜平台由倾斜台底座(3)、倾斜台面(4)、三根伸缩杆(11)、锁紧螺钉(13)、弹性垫圈组(12)构成,倾斜台面(4)同时也是平面三自由度平台的底座,平面三自由度平台还包括X向可调台面(5)、Y向可调台面(6)、工作台面(7);其中,静台体(1)和倾斜台底座(3)之间用簧片(2)来连接,使得静台体(1)和倾斜台底座(3)之间具有一个可绕X轴旋转的自由度RX0,这个自由度是用来粗调的;倾斜台底座(3)和倾斜台面(4)之间有三根伸缩杆(11),且该锁紧螺钉(13)穿过弹性垫圈组(12)将倾斜台底座(3)和倾斜台面(4)连接,X向可调台面(5)、Y向可调台面(6)和倾斜台面(4)是一个二维导轨平移台,Y向可调台面(6)和工作台面(7)组成一个一维的旋转台,每个台面之间都是用螺钉联接固定的。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张东路1525号 |