用于数据压缩的群集

摘要

一种采用软件的改进的断面测量数据收集和分析系统，该软件对存储在表示半导体芯片晶片断面的存储器中的库数据进行群集分析，用于实时匹配来自由断面测量仪器收集的数据的数据信号。为了更好地在输入的数据信号与断面库数据之间实时进行匹配为群集，并抽取群集的代表性的群集数据点。代表性群集存储在主存储器(例如RAM)，而形成群集的数据存储在次存储器(例如硬驱动器)。然后实时数据信号首先与代表性群集数据点比较，并当与特定的代表性群集数据点形成匹配时，与代表性群集数据点相关的群集从次存储器加载到主存储器。然后进而使用输入的实时数据信号进行搜索，以找出与群集中的数据最接近的匹配。这样，不必顺序地搜索整个的库数据，因而为了快速搜索，整个的库不必驻留在主存储器中，这既保存了时间又保存了主存。进而公开了细分驻留在群集的teh边界上的点的具体情形的技术。在优选实施例中，群集的划分方法基于teh T.Gonzalez算法。

主权项

1.一种用在半导体芯片制造中的断面测量系统，包括：计算机存储器，所述计算机存储器包括主存储器和次存储器；用于将从仪器收集的实时数据表示为实时数据信号的软件模块；用于把多维空间中点的库数据集合S群集为群集集合的软件模块；其中每个群集具有一个或多个数据点和一个代表性数据点，其中所述代表性数据点存储在所述主存储器中，和其中所述群集的集合存储在所述次存储器中；以及用于比较所述实时数据信号与所述主存储器中存储的代表性数据点以便找出最接近的匹配代表性数据点，以及用于比较所述实时数据信号与对应于所述最接近的匹配代表性数据点的群集的一个或多个数据点的比较软件模块。